新一代智能UV打印系統——DMD無掩模光刻機

Microlight3D是一家生產用于工業和科學應用的高分辨率微尺度2D和3D打印系統的專業制造商。智能UV打印(SP-UV)系統，是該公司新產品。這是一種配有一個385 nm的紫外LED光源，基于DMD（Digital Micromirror Device）的全新無掩模光刻系統，因此SP-UV可以兼容所有標準的微電子光刻膠，包括微流體應用中*的i-line光阻劑SU-8。這一特點為半導體加工領域的開發人員，在光刻膠材料的選擇上提供了更加廣闊的空間。

DMD無掩膜光刻機SP-UV的優勢之一是對DMD光學投影技術的應用。這一技術在提高直寫精度和速度的同時，提供了四種不同的直寫分辨率。搭配Microlight3D的“快速切換"物鏡系統，僅需2秒就能完成分辨率切換。

Microlight3D執行官Denis Barbier表示:“Microlight3D的SP-UV技術可以與更廣泛光刻膠材料相兼容。在為無掩模光刻的應用開拓了新的領域的同時，滿足了開發人員對多功能性和可負擔性的需求。"“我們使芯片實驗室和其他領域(光電子學、MEMS、自旋電子學)的研究人員可以更容易、更快速地在較大表面積上(120x120 mm2)，加工微米分辨率的復雜結構。由于該系統集成度非常高，使各種用戶都可以無障礙的使用，我們也因此希望SP-UV在微流體以及各個領域中的小批量生產上開辟新的市場機會。"

無掩膜光刻機SP-UV的另一大優勢是具備精心挑選的物鏡焦距范圍，以允許較長工作距離(可達3厘米)。這意味著SP-UV可以用于非標準基底，包括那些彎曲（比如光學鏡片）、柔性或者較厚的。而競品機型的工作距離通常較短，在處理非平坦基底時非常困難。

無掩膜光刻機SP-UV的385nm紫外光源配有一個反饋相機，使聚焦更容易，并同時用于檢查和校準。作為一種新的投影技術，385nm的LED光源與高性能電動位移臺相結合，使開發人員能夠在微米分辨率的水平上 進行快速微結構制造。

該系統配套的高性能電動位移臺，提高了準精度的同時，也降低了拼接誤差。設備核心被封裝在具有紫外線保護的包裝的空間內，使其可以在通常環境下安全使用。

無掩膜光刻機SP-UV可以達到目前直寫速度等級(高達1000mm2/min)；當分辨率為6μm時，其速度是其他品牌類似產品的兩倍，而當分辨率為15μm時，其速度可達其他品牌類似產品的10倍。

關于生產商：

Microlight3D是高分辨率 微尺度 2D和3D打印系統的專業制造商。Microlight3D致力于滿足科學家和工業研究人員新的設計加工需求，以及高精度生產任何幾何或非幾何形狀的微型零件。通過結合2D和3D微納打印技術，Microlight3D為客戶提供了制造更大尺寸復雜部件的靈活性。它的目標是為未來的新興領域提供更快、更復雜的微型制造系統。Microlight3D的設備現用于微光學、微流體、微機器人、超材料、細胞生物學和微電子學等。

Microlight3D在2016年成立于法國格勒諾布爾，在Grenoble Alpes大學(UGA)進行了超過15年的3D微納打印技術研發。

上海昊量光電作為Microlight3D在中國大陸地區大的代理商，為您提供專業的選型以及技術服務。對于Microlight3D有興趣或者任何問題，都歡迎通過電話、電子郵件與我們聯系。

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