| 價格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
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納米精度電動升降臺
電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅(qū)動電機及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動升降臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現(xiàn)高速平穩(wěn)運動，*的螺桿品質(zhì)使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導(dǎo)軌+LM滑軌，在確保了升降臺，具有超高的運動性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時，分辨率達到了10nm。按照定位精度區(qū)分，我司電動升降臺可分為 10納米精度位移臺和亞微米精度位移臺兩種類型。
1）10nm精度電控升降臺
該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)。可以提供沿垂直方向的精密移動與定位。其采用光學(xué)線性位置編碼器，在提供大行程的同時，使設(shè)備擁有較高的精度。該產(chǎn)品采用滾珠絲杠驅(qū)動和LM滑軌+交叉滾珠導(dǎo)軌導(dǎo)向，確保了升降臺的精度及線性度。目前該產(chǎn)品提供5mm和10mm兩種不同行程的電控位移臺。
2）亞微米分辨率電控升降臺
該系類位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制，精度可達到50-100nm，可提供5mm和10mm不同行程的電控位移臺。
此外這兩種版本的升降臺可提供真空條件下使用的版本，可適用的的真空條件為10-4Pa，真空度約為10-6 Torr。
納米精度電動升降臺主要特點
- 高分辨率
- 高重復(fù)定位精度
- 采用滾珠絲杠，實現(xiàn)高精度定位
- 采用高等級交叉滾珠導(dǎo)軌，具有超高運動性能
u 主要應(yīng)用
超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動計量儀器檢測設(shè)備、工業(yè)自動化等領(lǐng)域。
主要參數(shù)：
亞微米電控平移臺參數(shù)：
型號 | 行程（mm） | 大負(fù)載(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精度(nm) | 大移動速度(mm/s) | ||
FC-411 | FC-111 | FC-411 | FC-111 | ||||
AU-FS-1005Z | 5 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 5 |
AU-FS-1010Z | 10 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 5 |
納米電控平移臺參數(shù)：
型號 | 行程（mm） | 大負(fù)載(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精度(nm) | 大移動速度(mm/s) |
AU-FS-1005PZ | 5 | 49 | 10 | ±20 | 5 |
AU-FS-1010PZ | 10 | 49 | 10 | ±20 | 5 |
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