膜厚測量儀（厚度范圍1nm~10mm）

美國Filmetrics膜厚測量儀

使用 Filmetrics 膜厚測量儀產品，只需單擊鼠標即可測量 1nm 至 10mm 的薄膜厚度。幾乎可以測量任何材料，直觀的設計意味著您可以在幾分鐘內進行一次薄膜厚度測量！

Filmetrics 膜厚測量儀通過分析光如何被薄膜反射來測量薄膜厚度。通過分析超出人眼可見波長的波長，Filmetrics 膜厚測量儀可以測量幾乎所有厚度大于 100 個原子的非金屬薄膜。而且由于沒有移動部件，因此可以在幾秒鐘內獲得結果：薄膜厚度、折射率，甚至粗糙度！

越來越多的公司依靠 Filmetrics 膜厚測量儀進行經濟實惠的薄膜厚度測量。手機、眼鏡、液晶顯示器和數百種其他產品的制造商都非常欣賞我們的設備易于使用、成本更低，并且提供無與的倫比的支持。事實上，我們的客戶每天都在向我們展示我們的薄膜厚度測量工具的新用途！

Filmetrics  膜厚測量儀-測量厚度從 1nm 到 10mm 的膜厚測量系統

Filmetrics 是通用的薄膜厚度測量儀器，在有數千種應用。厚度和折光率可在不到一秒的時間內測量。與我們所有的厚度測量儀器一樣，F20 可連接到 Windows™ 計算機的 USB 端口，并在幾分鐘內完成設置。不同的 F20 儀器主要根據波長范圍進行區分。標準 F20 是 Filmetrics 非常受歡迎的產品。通常，較薄的薄膜需要較短的波長（例如 F20-UV），而較長的波長允許測量較厚、較粗糙和更不透明的薄膜。

膜厚測量儀（厚度范圍1nm~10mm）包括什么配件？

• 集成光譜儀/光源單元

• FILMeasure 5.0 軟件

• 具有多位置聚焦的 SS-3 樣品臺

• 光纜

• 參考資料

• 厚度標準

• 作手冊的硬拷貝

• 連接電纜

• FILMeasure 獨立軟件（用于遠程數據分析）

• 備用燈

• 鑷子

膜厚測量儀（厚度范圍1nm~10mm）測試原理：

當波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結構相關的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關的光學常數。

比如：

半導體（硅，單晶硅，多晶硅）

半導體化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微電子機械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

聚合物涂層（聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

Filmetrics 膜厚測量儀分類：

1、單點膜厚測量——F20
2、單點手持膜厚測量——F10-HC
3、聚焦光斑膜厚測量儀——F40
4、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——F50
5、在線膜厚測量儀——F30