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    高分辨率測試靶

    簡要描述:高分辨率測試靶的特點內部每個正方形均為 50 x 50 平方微米,整體尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米。該靶片非常適合于測試圖像偏斜和曲率,以及確定由于直線和銳邊導致的圖像質量。

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2021-08-20
    • 訪  問  量:1823
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    Product catalog

    詳細介紹
    品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
    應用領域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池極限空間分辨率<1um

    高分辨率測試靶


    負片圖案設計


    基底為10x10mm2,設計緊湊,尺寸穩(wěn)定性良好


    采用高精度電子束光刻技術制作


    結構尺寸低至100nm


    分辨率可達到3300 lp/mm

    昊量光電推出的 Test chart 標準尺系列是由高精度的電子束光刻制作而成,這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的,基底為一個10×10 mm2石英襯底上。在襯底上施加了高光密度的鉻層,之后通過燒蝕鉻層,使得結構尺寸可以降低到100納米的同時保證了設計的精度,這種方式也保證了結構邊緣的良好尺寸公差和直線度。其結構為負片圖案,且每個靶上的負片圖案允許結構透明,而背景被鉻層阻擋。同時為配各類顯微鏡物鏡使用,有多種圖案可以選擇,且所有圖案都可以有一個厚度0.17毫米的覆蓋玻璃的版本可用。


    高分辨率顯微鏡標準測試片標準載玻片靶 TC-RT01——7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes

    通過高分辨率的RT01,可以非常輕松、快速地在傳輸光下確定目標的分辨率限制。水平和垂直對齊共有 59 條線型,涵蓋了精度從每毫米 7.5條線對 到 3300 條線對。

          同時結構的簡單排列和測試結構尺寸的直接讀取確保了直觀的處理。此外,還有5個直徑在4.0-0.25 um之間的針孔,可以實現(xiàn)微成像光學元件的詳細表征


              西門子星狀靶 TC-RT02   ——   Resolution testchart with very high precision




     該標準尺由 5 顆西門子星組成, 其特點是星中心的錐形部分制造的寬度低至為 150nm。該測試目標板非常適合于確定具有非常高數(shù)值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率


    載玻片檢查板TC-CB50   ——    CheckBoard of 50 x 50 um2 squares

     


    高分辨率顯微鏡檢查板的特點內部每個正方形均為 50 x 50 平方微米,整體尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米。該靶片非常適合于測試圖像偏斜和曲率,以及確定由于直線和銳邊導致的圖像質量。


    載玻片針孔靶TC-ST01   ——    Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm

         



         

    該標準尺上提供了直徑0.18um到4um的針孔。相同階梯式針孔間具有足夠的暗區(qū),使待測透鏡的整個視場變暗。該標準尺特別適用于顯微鏡透鏡的星形測試和光學顯影


    高分辨率顯微鏡靶通用規(guī)格

    Pattern Tolerance:

    100nm/cm

    光密度 OD:

    OD>8 @ 400nm, 6   @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm

    光譜范圍:

    200 - 2000nm

    基底:

    Fused Silica   w/Chrome deposit

    尺寸 (mm):

    10 x 10 x 1

    構造 :

    Stainless Steel, 75   x 25 x 1.5mm, microscope slide format



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