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高負(fù)載中型六軸位移臺(tái)(六足機(jī)器人)
高負(fù)載中型六軸位移臺(tái)(六足機(jī)器人)是一種并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，可在六個(gè)自由度內(nèi)移動(dòng)、定位和對(duì)準(zhǔn)負(fù) 載：三個(gè)平移軸（X、Y、Z）和三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸（ΘX、ΘY、ΘZ）。六足位移臺(tái)（又稱 Stewart 平臺(tái)）的典型結(jié)構(gòu)由六個(gè)長(zhǎng)度可調(diào)的促動(dòng)器組成，這些促動(dòng)器通過(guò) 關(guān)節(jié)連接到底板以及承載負(fù)載的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

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皮米精度位移測(cè)量?jī)x
昊量光電推出的皮米精度位移測(cè)量?jī)xquDIS是低至納米范圍位移測(cè)量的理想儀器，達(dá)到了*50pm的重復(fù)精度。quDIS支持三個(gè)測(cè)量通道，使其可以適用于任意多軸測(cè)量應(yīng)用。皮米精度位置測(cè)量?jī)x同樣采用激光干涉法，不過(guò)與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考，通過(guò)激光波長(zhǎng)調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的

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