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    空氣軸承系統——ALIO納米級高精度運動系統

    簡要描述:空氣軸承系統——ALIO納米級高精度運動系統是一種用氣浮導軌或空氣軸承做支撐的精密運動裝置,適用于下一代TRUE NANO®精密應用。空氣軸承系統提供出色的定位性能,適用于高精度要求的應用。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2023-07-07
    • 訪  問  量:1334
    產品目錄

    Product catalog

    詳細介紹
    品牌昊量光電產地類別進口
    應用領域化工,綜合

    空氣軸承系統——ALIO納米級高精度運動系統

    空氣軸承系統產品描述:

    ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空氣軸承運動系統,6-D指運動的6個維度;線性,直線度,平面度,俯仰,偏航和滾動。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision® 是指在納米級精度下運動的身體的所有 6 個自由度的性能證明文件。空氣軸承系統適用于制造、檢測/維修和計量等各種應用領域。ALIO Industries空氣軸承運動系統,是一種用氣浮導軌或空氣軸承做支撐的精密運動裝置,適用于下一代TRUE NANO®精密應用。空氣軸承系統提供出色的定位性能,適用于高精度要求的應用。空氣軸承系統適用于多個行業,包括光伏、半導體、噴墨沉積、光刻和光學檢測等領域。


    空氣軸承系統——ALIO納米級高精度運動系統產品特點:

    • 零摩擦和無振動的平滑移動

    • 速度穩定超高精度的移動

    • 運動不產生顆粒,適用于無塵環境

    • 軸承損耗低,表面不易損壞


    定制二維平面 XY 空氣軸承系統



    由于兩個軸都使用相同的高精度花崗巖底座作為參考,因此可以在數百毫米(甚至米)的行程范圍內實現僅一微米的平面度。


    這種高剛性平面 xy 空氣軸承運動系統系列提供亞微米精度和 +/- 100 納米雙向可重復性,即使在批量機器的批量生產中也是如此生產。憑借 200 毫米至 800 毫米的標準版本,以及可定制超過 3 米的 X 和 Y 行程,該產品系列在任何類型的測量/計量應用和半導體行業中都具有True Nano®精度。

    強大的線性直接驅動器和空氣軸承使這些運動系統非常適合高精度、高吞吐量的應用,這些應用需要平滑的連續掃描或非常長距離的快速步進和穩定過程。



    定制空氣軸承平衡式Z軸位移臺(垂直位移臺)



    ALIO 的直線電機驅動、帶空氣軸承平衡的垂直 Z 升降平臺系列的特點是外形低矮且行程極長。使用高精度交叉滾子軸承和線性編碼器,平臺配備無摩擦空氣軸承氣缸。與 GeoSymmetric 系列平臺類似,這些長行程 Z 平臺具有配重、電機、軸承和編碼器,所有這些都放置在平臺的大致中心線上。有效負載可以直接安裝到舞臺的表面。

    Z-ABCB 系列——配備無摩擦空氣軸承氣缸平衡裝置——可在 200 毫米或以上承載高達 25 公斤的有效載荷。


    定制空氣軸承旋轉臺




    當需要很高的旋轉精度時,制造商可以從 ALIO 的空氣軸承旋轉平臺系列中進行選擇。空氣軸承允許載物臺在沒有機械接觸的情況下移動,因此移動無摩擦且無磨損。即使在高速或旋轉平臺垂直安裝時,擺動、偏心或跳動等誤差也盡可能消除,以接近平滑的 360 度運動。


    如果您對我們全新的空氣軸承系統感興趣,請與我們聯系,了解更多詳細信息。我們將為您提供定制的解決方案,滿足您的精密運動和定位需求。


    更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電

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